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如何在動(dòng)輒數(shù)萬(wàn)平方米、工序上千道的半導(dǎo)體晶圓廠里，讓數(shù)十萬(wàn)片晶圓在不同設(shè)備間精準(zhǔn)、高效、無(wú)損地流轉(zhuǎn)？蘇州新施諾半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)（AMHS）給出答案。
走進(jìn)新施諾的測(cè)試線，天花板軌道縱橫，被稱(chēng)為“天車(chē)”的空中懸掛式無(wú)人搬送車(chē)悄無(wú)聲息地穿梭其中?！斑@套系統(tǒng)就像是晶圓廠里的‘智能高速公路’?！毙率┲Z總經(jīng)理王宏玉介紹，系統(tǒng)由硬件設(shè)備和自主研發(fā)的軟件系統(tǒng)共同組成，為晶圓廠提供整體解決方案，不僅擺脫了對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴，更成為12英寸先進(jìn)晶圓廠不可或缺的關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施。已在多家行業(yè)頭部客戶的產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行。
隨著半導(dǎo)體制造工藝的演進(jìn)，人工搬運(yùn)在效率、潔凈度與防震方面早已力不從心。新施諾AMHS成功實(shí)現(xiàn)整體技術(shù)的自主可控，完成從初代產(chǎn)品到規(guī)?；桓兜目缭健Ｄ壳捌涞恋诹燔?chē)系統(tǒng)，可提供整廠全棧解決方案：搬運(yùn)重復(fù)精度達(dá)±0.5毫米，振動(dòng)峰值控制在0.5G以下，關(guān)鍵取放設(shè)有多重防護(hù)；天車(chē)直線最高速度每秒5.3米，抓放動(dòng)作僅需數(shù)秒，即使長(zhǎng)距離跨區(qū)跨層搬運(yùn)，效率與穩(wěn)定性也得以保證。
比硬件更關(guān)鍵的是“大腦”。新施諾自主開(kāi)發(fā)的調(diào)度軟件，能處理每日數(shù)十萬(wàn)次搬運(yùn)任務(wù)，通過(guò)算法規(guī)避擁堵、優(yōu)化路徑，實(shí)現(xiàn)物料全程可追溯、數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)可視化，讓生產(chǎn)調(diào)度變得更加“聰明”和“靈活”。其模擬仿真調(diào)度量已超1000臺(tái)，壓力測(cè)試達(dá)70萬(wàn)次/天。
新施諾總經(jīng)理王宏玉說(shuō)道：“我們將持續(xù)深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新不斷提升國(guó)產(chǎn)化水平，助力產(chǎn)業(yè)向高效、智能邁進(jìn)?！?/p>
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